ОЦЕНКА ТОЛЩИНЫ И ОДНОРОДНОСТИ ВАКУУМНО-НАКЛАДЫВАЕМОГО СЛОЯ НА ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЯХ ПОДВИЖНЫХ ОБЪЕКТОВ
Ключевые слова:
вакуум, испарение, толщина покрытия, моделирование, напыление, фотометрия, оптическая плотностьАннотация
Выполнены расчеты толщины и однородности вакуумных покрытий, нанесенных на вращающиеся объекты, такие как вращающиеся диски. На основе теоретических и экспериментальных исследований с использованием разработанной модели массопереноса при осаждении на движущийся наклонный диск получены зависимости, связывающие толщину и равномерность покрытия с параметрами системы испарения.
Авторы произвели измерения оптической плотности металлических покрытий на стеклянных дисках диаметром до 100 мм. Фотометрические измерения покрытий Cr, Ti и Cu толщиной порядка 40–50 нм показали удовлетворительное соответствие расчетным прогнозам однородности.
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Copyright (c) 2023 Центрально азиатский журнал STEM
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-ShareAlike» («Атрибуция — На тех же условиях») 4.0 Всемирная.
